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气体质量流量控制器MFC


气体质量流量控制器MFC
产品型号: D500/D600
产品品牌: SHAKIC
产品价格: 面议
所 在 地: 上海 徐汇区
发布日期: 2018-12-16

详细说明

上海洪柯自动化仪表公司推出的D500/D600气体质量流量控制器(Mass Flow Controller)/气体质量流量计(Mass Flow Metre)用于对气体的质量流量进行精密测量和控制。广泛应用于半导体、真空、太阳能、分析仪器、光电、制气、医疗、电力、化工等各个领域。产品具有精度高、重复性好、稳定性高、性价比高、工作压力范围宽、使用寿命长等特点。
流量规格(N2):
(0~5、10、20、30、50、100、200、300、500)SCCM;(0~1、2、3、5、10、20、30、50、100)SLM
准确度:
±1%F.S.
线性:
±0.5%F.S.
重复精度:
±0.2%F.S.
响应时间:
≤1Sec
工作压差范围:
(0.05~0.3)MPa
最大耐压:
10MPa
工作环境温度:
5~65℃
电气连接:
8 Pin(Mini S Plug)
输入/输出信号
Digital:RS232/RS485;
Analog:(0~5) VDC or (4 ~20)mA
电源:
7~16VDC 1A;或24VDC500mA
标准接头:
Swagelokφ3,φ6,φ10…;Swagelok 1/8″,1/4″…;
VCRφ3,φ6…;VCR 1/8″,1/4″…
外形尺寸
130*28*121mm
重量约
1.0kg